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電子、微電子工業(yè)中的靜電防護(hù)

文章出處:行業(yè)資訊 責(zé)任編輯:東莞市明欣塑膠材料有限公司 發(fā)表時(shí)間:2020-04-08
  

靜電是一種客觀的自然現(xiàn)象,產(chǎn)生的方式很多,如接觸、磨擦、沖流等等。其產(chǎn)生的基本過(guò)程可歸納為:接觸 → 電荷 → 轉(zhuǎn)移 → 偶電層形成 → 電荷分離。設(shè)備或人體上的靜電最高可達(dá)數(shù)萬(wàn)伏以至數(shù)十萬(wàn)伏,在正常操作條件下也常達(dá)數(shù)百至數(shù)千伏。人體由于自身的動(dòng)作及與其它物體的接觸-分離、磨擦或感應(yīng)等因素,可以帶上幾千伏甚至上萬(wàn)伏的靜電。靜電是正、負(fù)電荷在局部范圍內(nèi)失去平衡的結(jié)果。它是一種電能,留存在物體表現(xiàn),具有高電位、低電量、小電流和作用時(shí)間短的特點(diǎn)。

靜電控制的主要措施有:靜電的泄漏和耗散、靜電中和、靜電屏蔽與接地、增濕等。

靜電放電引起的元器件擊穿損害是電子工業(yè)最普遍、最嚴(yán)重的靜電危害,它分硬擊穿和軟擊穿。硬擊穿是一次性造成元器件介質(zhì)擊穿、燒毀或永久性失效;軟擊穿則是造成器件的性能劣化或參數(shù)指標(biāo)下降。

靜電敏感器件的儲(chǔ)存和運(yùn)輸不能在有電荷的狀態(tài)下進(jìn)行,要實(shí)現(xiàn)上述功能,基本做法是設(shè)法減小帶電物的電壓,達(dá)到設(shè)計(jì)要求的安全值以內(nèi)。即要求下式中的電荷(Q)與電阻(R)要小,靜電容量(C)要大。

V=I.R Q=C.V (式中V:電壓,Q:電荷量 I:電流 C:靜電容量 R:電阻)

當(dāng)然電阻值也不是越低越好,特別是在大面積場(chǎng)所的防靜電區(qū)域內(nèi)必須考慮漏電等安全措施之后再進(jìn)行材料的選取。

靜電防護(hù)措施中檢查、安裝IC靜電防護(hù)作業(yè)場(chǎng)所,本工序的目的在于將包括人體在內(nèi)的作業(yè)場(chǎng)所處于同等電位

靜電敏感元器件和印制電路板在生產(chǎn)過(guò)程中工序之間的傳遞和儲(chǔ)放,必須使用防靜電上料箱、元件盒、周轉(zhuǎn)箱、周轉(zhuǎn)托盤等。以防止靜電積累造成危害。靜電敏感元器件和印制電路板,作為成品進(jìn)行包裝時(shí)必須采用防靜電屏蔽袋、包裝袋、包裝盒、條、筐等,避免運(yùn)輸過(guò)程中的靜電損害。

電子產(chǎn)品在生產(chǎn)過(guò)程中,其元器件、組件成品經(jīng)常與設(shè)備工具等發(fā)生接觸、分離,磨擦而產(chǎn)生靜電,必須使用防靜電坐墊、周轉(zhuǎn)小車、維修包、工具、工作椅(凳)等,并通過(guò)適當(dāng)?shù)慕拥兀轨o電迅速泄放。

磨擦起電和人體靜電是電子、微電子工業(yè)中的兩大危害源,但產(chǎn)生靜電并非危害所在,危害在于靜電積累及由此產(chǎn)生的靜電電荷放電,因此必須予以控制。帶靜電的物體,在其周圍形成靜電場(chǎng),會(huì)產(chǎn)生力學(xué)效應(yīng),放電效應(yīng)和靜電感應(yīng)效應(yīng)。由于靜電的力學(xué)效應(yīng),空氣中的浮游的塵粒會(huì)吸附到硅片等電子元器件上,嚴(yán)重影響電子產(chǎn)品的質(zhì)量,因此,對(duì)凈化工作空間必須采取防靜電措施。

凈化室的墻壁、天花板和地板等都應(yīng)采用防靜電的不發(fā)塵材料,對(duì)操作人員及工件、器具也應(yīng)采取一系列的靜電防護(hù)措施。

為了解生產(chǎn)過(guò)程靜電起電情況,判別生產(chǎn)過(guò)程中靜電的影響程度以及檢驗(yàn)靜電防護(hù)用品、裝備質(zhì)量都需要測(cè)量靜電及有關(guān)參數(shù)。靜電的測(cè)量,主要是對(duì)靜電電壓、材料電阻、接地電阻、靜電關(guān)衰期、靜電電量、靜電消除器消電性能、布料電荷面密度等的測(cè)量。